洛陽中硅高科技有限公司的多晶硅材料制備技術國家工程實驗室，科研人員正在做實驗。河南日報資料圖片

河南日報客戶端記者 尹江勇

一粒小小的傳感器，可賦能萬物，感知大千世界；一枚晶瑩的半導體，可轉換光電，導向無盡未來。智能傳感器和半導體產(chǎn)業(yè)，作為新一代信息技術的核心，已然成為科技競爭的主戰(zhàn)場。省委、省政府著眼構建現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系，將智能傳感器和半導體產(chǎn)業(yè)列為全省重點打造的千億級產(chǎn)業(yè)鏈。

漢威科技、仕佳光子分別在傳感器、激光器芯片領域牽頭實施2項國家重點研發(fā)計劃；龍門實驗室與中硅高科、麥斯克電子等企業(yè)聯(lián)合攻克了電子級多晶硅提純關鍵核心技術；平煤神馬集團碳化硅半導體實驗室成功生長出全省第一塊8英寸碳化硅單晶晶錠……去年以來，我省高位推動智能傳感器和半導體產(chǎn)業(yè)鏈，令人振奮的創(chuàng)新成果不斷涌現(xiàn)。

省政府辦公廳印發(fā)《河南省培育壯大智能傳感器和半導體產(chǎn)業(yè)鏈行動方案（2023—2025年）》；河南省電子信息產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟正式揭牌；成功舉辦2023世界傳感器大會；河南省傳感器行業(yè)協(xié)會建設的全國傳感器產(chǎn)業(yè)領域最大的互聯(lián)網(wǎng)公共服務平臺累計交易量突破20億元……我省搶抓機遇，圍繞補鏈延鏈強鏈整合優(yōu)勢，持續(xù)加大產(chǎn)業(yè)鏈培育力度，正努力把河南智能傳感器和半導體打造成為在全國有影響力的標志性產(chǎn)業(yè)。

創(chuàng)新驅動

企業(yè)主體“龍騰虎躍”

陽春三月，萬物生機勃發(fā)。在洛陽中硅高科技有限公司的硅基材料制備技術國家工程研究中心實驗平臺，十幾個攻關組組建了近20個研發(fā)團隊，每個團隊緊盯一個產(chǎn)品，研究人員正埋頭進行硅基電子材料新產(chǎn)品研發(fā)。

目前國家在集成電路領域需要的硅基材料有40余種。“我們要在2025年前在產(chǎn)業(yè)方面實現(xiàn)30種國產(chǎn)供應，其余的要在實驗室實現(xiàn)基礎突破?！敝泄韪呖聘倍麻L、黨委副書記、總經(jīng)理萬燁表示，企業(yè)作為河南省電子化學品產(chǎn)業(yè)鏈和洛陽市集成電路和智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈鏈主單位，將加大科研投入力度，支撐洛陽產(chǎn)業(yè)鏈條沖刺百億級目標。

類似的企業(yè)發(fā)展場景在我省智能傳感器和半導體產(chǎn)業(yè)鏈條上正不斷呈現(xiàn)：去年10月17日，位于平頂山市的河南中宜創(chuàng)芯發(fā)展有限公司年產(chǎn)2000噸電子級碳化硅粉體項目一期試生產(chǎn)成功，標志著河南電子級碳化硅粉體開始進入批量生產(chǎn)階段，填補了河南第三代半導體產(chǎn)業(yè)領域空白。

今年年初，作為國內氣體傳感器行業(yè)龍頭企業(yè)，漢威科技集團發(fā)布了JT-KWA系列激光家用可燃氣體探測器新品，意味著漢威科技集團已實現(xiàn)從激光器到傳感器模組再到可燃氣體探測器的全鏈條自主可控，引領激光氣體探測技術從工業(yè)走向民用領域，并形成了行業(yè)領先的產(chǎn)品優(yōu)勢。

“2023年以來，按照省委、省政府培育推進產(chǎn)業(yè)鏈工作統(tǒng)一要求，我省聚焦提升產(chǎn)業(yè)鏈基礎高級化和現(xiàn)代化水平，緊密協(xié)作、齊抓共管，推動產(chǎn)業(yè)生態(tài)擴量提質，產(chǎn)業(yè)鏈自主創(chuàng)新能力和核心競爭力正加速提升?！笔】萍紡d黨組書記、廳長張銳介紹，鄭州、洛陽兩個產(chǎn)業(yè)核心區(qū)創(chuàng)新發(fā)展能力和集聚效應顯著增強，三個高能級平臺穩(wěn)步推進，N個特色產(chǎn)業(yè)基地加緊建設，將智能傳感器和半導體產(chǎn)業(yè)打造成為全省新興領域標志性產(chǎn)業(yè)的信心進一步增強。

圍繞關鍵環(huán)節(jié)，強化科技攻關。河南省日立信股份有限公司研制出基于硅基氣敏薄膜芯片的MEMS氫氣、甲醛及硫化氫傳感器，已成功在核電、新能源汽車、智能家居等重點領域應用驗證；鄭州磨料磨具磨削研究所、河南飛孟金剛石公司承擔的第三代化合物半導體用材料產(chǎn)業(yè)項目通過了國家驗收；平煤神馬集團碳化硅半導體實驗室生長出全省第一塊8英寸碳化硅單晶晶錠，填補了我省相關領域空白。

聚焦產(chǎn)業(yè)需求，創(chuàng)新服務發(fā)力。省科技廳圍繞我省7大萬億級先進制造業(yè)集群和28個重點產(chǎn)業(yè)鏈一體化布局創(chuàng)新鏈，全面啟動科技服務綜合體工作，為創(chuàng)新主體提供專業(yè)、精準、高效的創(chuàng)新服務。在智能傳感器和半導體方面，實施2023年度重大科技項目12項，省財政合計支持2580萬元，涵蓋材料、芯片、傳感器、裝備制造、應用場景示范等方向，為提升產(chǎn)業(yè)鏈各關鍵環(huán)節(jié)核心競爭力提供有力的科技支撐。

全鏈提升

“一谷多園”持續(xù)優(yōu)化

沿鄭州高新區(qū)科學大道往西，就能看到總投資60億元的中國（鄭州）智能傳感谷啟動區(qū)，這里已集聚傳感器產(chǎn)業(yè)鏈核心及關聯(lián)企業(yè)3000余家，綜合實力居全國傳感器十大園區(qū)第四位。

智能傳感谷是我省打造智能傳感產(chǎn)業(yè)集群的核心承載平臺。“作為傳感谷建設的先頭部隊，啟動區(qū)內的產(chǎn)業(yè)布局完全按照產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展要素而建，規(guī)劃有創(chuàng)業(yè)孵化大廈、中試基地、產(chǎn)學研基地、企業(yè)總部基地、產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)及飛地孵化基地，打造國內一流、國際先進水平的智能傳感物聯(lián)新高地。”啟動區(qū)項目負責人劉鵬告訴記者。

省委、省政府高度重視智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展，將其列為河南省重點培育的28條產(chǎn)業(yè)鏈之一。根據(jù)2023中國民營經(jīng)濟發(fā)展論壇發(fā)布的《民營經(jīng)濟驅動產(chǎn)業(yè)集群高質量發(fā)展研究暨2023中國百強產(chǎn)業(yè)集群》報告，鄭州智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群成功入選“百強”，位列河南第一。經(jīng)過多年發(fā)展，智能傳感谷的產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)加速集聚態(tài)勢，形成了氣體、氣象、農(nóng)業(yè)、電力（網(wǎng)）等多門類傳感器產(chǎn)業(yè)鏈及批量生產(chǎn)能力。

截至目前，智能傳感谷已擁有國家級專精特新“小巨人”企業(yè)41家。其中漢威電子、新天科技、光力科技等6家智能傳感器上市企業(yè)，產(chǎn)業(yè)規(guī)模已由50億元壯大至300億元，年均增長45%。氣體傳感器國內市場占有率達75%，氣體檢測儀表國內市場占有率達15%，居全國首位。智慧水務、智慧環(huán)保、安全監(jiān)測等整體解決方案成為行業(yè)標桿。

根據(jù)規(guī)劃，智能傳感谷將重點圍繞智能傳感器材料、智能傳感器系統(tǒng)、智能傳感器終端“三個產(chǎn)業(yè)集群”，發(fā)展環(huán)境傳感器、智能終端傳感器、汽車傳感器“三個特色產(chǎn)業(yè)鏈”，形成千億產(chǎn)業(yè)帶。到2025年，智能傳感谷將打造千億級產(chǎn)業(yè)集群，鄭州市智能傳感器產(chǎn)業(yè)相關規(guī)模達到1000億元，建設國家級技術中心3個以上，培育超100家高新技術企業(yè)。

與此同時，全省加速布局智能傳感器和半導體產(chǎn)業(yè)鏈：洛陽市圍繞智能傳感器、電子特氣、硅基電子功能材料等重點細分領域，強化關鍵核心技術攻關，推動重點項目建設，加快打造半導體材料制造基地；新鄉(xiāng)市做大、做強、做優(yōu)特色電子氣體、芯片制造和芯片封測產(chǎn)業(yè)，新鄉(xiāng)高新區(qū)半導體數(shù)字產(chǎn)業(yè)園項目正在規(guī)劃建設中；鶴壁市項目建設不斷加快，仕佳光子產(chǎn)業(yè)鏈核心環(huán)節(jié)優(yōu)勢地位得到加強；南陽市重點在紅外傳感器、光敏電阻等領域發(fā)力，并向氣體、火焰探測等工業(yè)領域應用拓展，高標準建設社旗縣傳感器高科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)項目；鄭州航空港區(qū)落地惠科、合晶硅片、龍芯中原總部等重大項目，與超聚變、比亞迪等終端項目形成產(chǎn)業(yè)鏈閉環(huán)，打造泛半導體全產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)群。

俯瞰中原大地，以鄭州的智能傳感谷為核心，智能傳感器和半導體產(chǎn)業(yè)鏈已輻射四面八方。開封流量儀表、洛陽氣象監(jiān)測、新鄉(xiāng)MEMS制造、鶴壁光電傳感……各地逐步形成了各具特色的產(chǎn)業(yè)園區(qū)，全省“一谷多園”的產(chǎn)業(yè)發(fā)展格局正在持續(xù)優(yōu)化。

平臺賦能

創(chuàng)新生態(tài)“枝繁葉茂”

進入我省搭建的“智能傳感產(chǎn)業(yè)生態(tài)平臺”，鄭州一家傳感器企業(yè)的研發(fā)人員上傳需求后，很快就在平臺上匹配到深圳一家企業(yè)，找到了研發(fā)急需的5G模組。“有了平臺支撐，可以大大加快我們企業(yè)的研發(fā)速度，并降低成本?！逼髽I(yè)負責人王斌興奮地說。

據(jù)介紹，鄭州智能傳感谷啟動區(qū)打造了行業(yè)首個產(chǎn)業(yè)大數(shù)據(jù)平臺，匯聚產(chǎn)業(yè)全要素數(shù)據(jù)，組織產(chǎn)業(yè)上下游優(yōu)質資源，構建起線上“傳感生態(tài)圈”，如今已有1000余家企業(yè)入駐，涵蓋3萬多個產(chǎn)品類別，幾乎可以滿足企業(yè)所有需求，助力傳感器產(chǎn)業(yè)鏈上下游的協(xié)同發(fā)展。

“為了構建良好的智能傳感器和半導體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)圈，我省全力提升創(chuàng)新能級，高標準建設了墨子實驗室、智能傳感器產(chǎn)業(yè)研究院、智能傳感器中試基地等省級創(chuàng)新平臺，加快建設省智能傳感器研發(fā)服務平臺，為技術創(chuàng)新、人才集聚、產(chǎn)業(yè)升級提供重要支撐?！笔】萍紡d黨組成員、副廳長陶曼晞介紹，2023年以來，我省在平臺建設方面力度不斷增強——

去年7月10日，墨子實驗室正式揭牌，聚焦半導體光芯片全產(chǎn)業(yè)鏈布局研發(fā)方向，加快關鍵核心技術攻關。10月30日，省工業(yè)和信息化廳牽頭成立河南省電子信息產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，將墨子實驗室吸納為聯(lián)盟理事單位，推動墨子實驗室與省內電子信息企業(yè)資源共享、協(xié)同合作。

2023年9月1日，智能傳感器MEMS研發(fā)服務平臺在鄭州高新區(qū)開工建設，項目總投資約15億元，力爭2024年9月具備部分投產(chǎn)條件，2025年年底達到交付使用條件。屆時，將實現(xiàn)“基礎研究—技術攻關—技術應用—成果產(chǎn)業(yè)化”全過程無縫銜接，推動智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展邁向規(guī)模化、特色化、差異化、高端化，建設具有國際影響力的智能傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈。

在集成電路領域，公共研發(fā)平臺和中試平臺建設工作也在快馬加鞭。去年10月8日，省委專題會議研究同意實施集成電路中試平臺（公共研發(fā)平臺）建設項目。去年11月28日，集成電路中試平臺項目在鄭東新區(qū)經(jīng)濟發(fā)展局完成了項目備案。目前，中試平臺建設工作正在有序快速推進。

令人振奮的是，從省智能傳感器行業(yè)協(xié)會傳來消息，“河南省智能傳感產(chǎn)業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺”并購整合了中國傳感器網(wǎng)、傳感器專家網(wǎng)、傳感器咨詢網(wǎng)等國內有影響力的產(chǎn)業(yè)平臺，已經(jīng)成為全國傳感器產(chǎn)業(yè)領域最大的互聯(lián)網(wǎng)公共服務平臺，平臺累計交易量突破20億元。

“通過平臺匯聚產(chǎn)業(yè)數(shù)據(jù)，組織上下游優(yōu)質資源，構建產(chǎn)業(yè)大數(shù)據(jù)和產(chǎn)業(yè)服務，我們可以實現(xiàn)從人才到研發(fā)、研發(fā)到產(chǎn)品、產(chǎn)品到場景、場景到市場的深度融合。”河南省智能傳感器行業(yè)協(xié)會秘書長朱寧表示，未來我省將進一步發(fā)揮產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)平臺作用，暢通“研發(fā)設計—產(chǎn)品—場景—市場”全要素對接渠道，為智能傳感器和半導體產(chǎn)業(yè)立足河南、走向全國提供全鏈條服務。

產(chǎn)業(yè)鏈名片

●智能傳感器和半導體產(chǎn)業(yè)是新一代信息技術的核心。我省傳感器領域已經(jīng)形成了氣體、氣象、農(nóng)業(yè)、電力（網(wǎng)）、環(huán)境檢測等多門類產(chǎn)業(yè)鏈及批量生產(chǎn)能力，涵蓋了環(huán)境、工業(yè)、農(nóng)業(yè)、電力等諸多領域；半導體方面也初步形成了關鍵材料、芯片設計、器件制造與封測等較為完整的產(chǎn)業(yè)鏈，并在關鍵材料環(huán)節(jié)，硅片、濕化學品、電子特氣、超純銅等方面均取得重大突破。

●截至目前，我省在相關產(chǎn)業(yè)細分領域優(yōu)勢明顯，漢威科技的氣體傳感器、森霸傳感的熱釋電紅外傳感器、日立信的六氟化硫傳感器國內市場占有率均居第一，光力科技的瓦斯抽采和氣體云監(jiān)測系統(tǒng)、新天科技的智能水表國內領先，半導體封測設備核心傳感器已實現(xiàn)技術突破，壓力、聲學、激光、流量等傳感器供給能力得到了明顯增強。

●全省現(xiàn)有智能傳感器和半導體高新技術企業(yè)260余家，其中產(chǎn)業(yè)鏈內上市公司已超過10家，擁有漢威科技、日立信、仕佳光子、麥斯克、多氟多等一批行業(yè)龍頭企業(yè)和單項冠軍企業(yè)。

大事記

●2023年4月

光力瑞弘半導體智能制造產(chǎn)業(yè)基地項目（一期）建成投產(chǎn)，劃片機實現(xiàn)穩(wěn)定供貨。

●2023年6月1日

第一次省智能傳感器和半導體產(chǎn)業(yè)鏈培育工作會議召開，工作專班成立，省委常委、宣傳部長王戰(zhàn)營任產(chǎn)業(yè)鏈鏈長。

●2023年6月16日

省委常委、宣傳部長王戰(zhàn)營帶隊赴鄭州高新區(qū)調研智能傳感器和半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展情況。

●2023年7月6日

第二次智能傳感器和半導體產(chǎn)業(yè)鏈工作專班推進會召開，審議修改《河南省培育壯大智能傳感器和半導體產(chǎn)業(yè)鏈行動方案》，安排部署下一步工作。

●2023年7月10日

墨子實驗室正式揭牌成立。省委書記樓陽生揭牌，省長王凱出席。

●2023年8月

麥斯克電子年產(chǎn)360萬片8英寸硅外延片正式開工建設；中硅高科電子信息材料轉型升級項目建成調試。

●2023年9月1日

智能傳感器MEMS研發(fā)服務平臺在鄭州高新區(qū)開工建設。

●2023年9月20日

鄭州合晶硅材料有限公司12英寸大硅片項目開工建設。

●2023年10月

省政府辦公廳印發(fā)《河南省培育壯大智能傳感器和半導體產(chǎn)業(yè)鏈行動方案（2023—2025年）》。

●2023年10月28日

超算互聯(lián)網(wǎng)核心節(jié)點建設工程項目簽約暨開工儀式在鄭州舉行。省委書記樓陽生講話，省長王凱出席。

●2023年10月30日

河南省電子信息產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟正式揭牌。

●2023年10月31日

河南省智能傳感器和半導體產(chǎn)業(yè)鏈工作推進會暨產(chǎn)業(yè)金融合作對接會在中國（鄭州）智能傳感谷啟動區(qū)召開。

●2023年11月5日至7日

2023世界傳感器大會在鄭州召開。

●2023年12月6日至8日

經(jīng)國務院批準，2023世界5G大會在鄭州成功舉辦。

（河南日報客戶端記者 尹江勇整理）